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SJ6000激光干涉仪

  • SJ6000激光干涉仪
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    SJ6000激光干涉仪


    产品参数: 


    产品型号:SJ6000

    产品名称:SJ6000激光干涉仪

    测量方式:单频

    稳频精度:±0.05ppm

    测量精度:±0.5ppm(0-40)℃

    线性测量距离:(0-80)m

    测量分辨率:1nm

    动态采集频率:50KHz

    工作温度范围:(0-40)℃

    环境温度范围:(0-40)℃,环境湿度:0-95%

    主要特点:应用范围广•●、测量精度高•●、操作方便

    激光干涉仪是以光波为载体,以光波波长为单位的高精度•●、高灵敏度检测设备,在高端制造领域应用广泛。

      SJ6000激光干涉仪采用美国进口高稳定氦氖激光器•●、激光双纵模热稳频技术,实现快速(约6分钟)•●、高精度(0.05ppm)•●、抗干扰能力强•●、长期稳定性好的激光输出;采用高精度环境补偿?•●、高精度激光干涉信号处理系统•●、高性能计算机控制系统技术,结合线性镜组能实现0.5ppm精度的线性测量;结合相应镜组还能实现角度•●、直线度(平行度)•●、平面度•●、垂直度•●、回转轴等参数的测量,并进行动态分析。

      SJ6000激光干涉仪产品具有测量精度高•●、测量速度快•●、测量范围大•●、分辨力高等优点。通过与不同的光学组件结合,可以实现对线性•●、角度•●、平面度•●、直线度(平行度)•●、垂直度•●、回转轴等参数的精密测量,并能对设备进行速度•●、加速度•●、频率-振幅•●、时间-位移等动态性能分析。

      在相关软件的配合下,可自动生成误差补偿方案,为设备误差修正提供依据。

    工作原理

      激光器发射单一频率光束射入线性干涉镜,然后分成两道光束,一道光束(参考光束)射向连接分光镜的反射镜,而第二道透射光束(测量光束)则通过分光镜射入第二个反射镜,这两道光束再反射回到分光镜,重新汇聚之后返回激光器,其中会有一个探测器监控两道光束之间的干涉(见图)。若光程差没有变化时,探测器会在相长性和相消性干涉的两极之间找到稳定的信号。

      若光程差有变化时,探测器会在每一次光程变化时,在相长性和相消性干涉的两极之间找到变化信号,这些变化会被计算并用来测量两个光程之间的差异变化。

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    功能特点

      测量精度高:以激光干涉技术为核心,分辨力可达纳米级;采用高精度环境补偿?,解决了温度•●、空气压力•●、相对湿度•●、材料温度等环境因素对测量结果的影响;使用激光热稳频控制系统,保证激光长期稳频精度;干涉镜与主机分离设计,避免干涉镜受热变形,保证干涉光路稳定。

      具有实现线性•●、角度•●、直线度•●、垂直度•●、回转轴等几何量的检测功能?梢约觳馐鼗•●、三坐标测量机等精密运动设备运动导轨的线性定位精度•●、重复定位精度等;同时也能检测运动导轨的俯仰角•●、扭摆角•●、垂直度和直线度;并可以校准机床的回转轴。

      可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表,为机床误差修正的提供依据。

      具有动态测量(位移-时间曲线•●、速度-时间曲线•●、加速度-时间曲线) 及测量振幅和频率分析的功能,可进行机床振动测量与分析,滚珠丝杆的动态特性分析,驱动系统的响应特性分析等。

      内置国内外通用的标准,含国标(GB) •●、ISO(国际) •●、BS(英制) •●、美标•●、DIN(德标) •●、JIS(日标)共10份 ?梢谰莞髦植煌幕脖曜挤治龃硎,并可打印相应的曲线图和数据报告。

      可自动监测环境温度•●、材料温度•●、环境湿度和大气压力的参数?裳≡袷侄蜃远谢肪巢钩。

      测量记录采用集中式数据库管理,可按被测件类型•●、生产单位•●、出厂编号•●、检定员•●、送检单位•●、设备编号•●、检定日期和有效日期等查询和管理检定记录;可将检定数据输出到Word•●、Excel文档。

      安装方便:基本重量为15kg,简单便携。

    恳请注意:因市场发展和产品开发的需要,本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改,恕不另行通知,不便之处敬请谅解。


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